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    ラジカルモニター <RadiMo-DP,SP>

    製品情報

  • ラジカルモニター
    (RadiMo)
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    ラジカルモニター
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  • ナノカーボン
    堆積装置
  • 超高密度室温
    大気圧プラズマ装置
  • 世界初、プロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置

    ラジカルモニター <RadiMo-DP,SP>

     

    概    要
       各種プラズマ技術を用いて行うエッチング・表面処理・薄膜作製プロセス時に
    おいて、プラズマ中に生成され、これらプロセスに重要な役割を果す各種原子状
    ラジカルの絶対密度を計測し、プロセスへのフィードバックを可能としたモニタ
    リング装置です。

    ※ 水素、窒素、酸素の原子状ラジカルを真空紫外吸収分光法を用いてダイレクト
        に計測し、プロセスにフィードバック可能
    ※ ICF70フランジに取付可能
    ※ 各種プラズマ装置に取付可能
      (EBEP処理装置, CCPエッチング/CVD, Catプロセス/CVD, ICPエッチング
        /CVD等)
    ※ 真空排気系一体制御型モニタリングシステム等、システム構成はお客様のニ
        ーズに対応