TEL:045-570-6886        
FAX:045-570-6890        
メール:info@kk-eng.co.jp
  • 製品情報
  • カスタマイズ製作
  • 製作実績
  • 技術紹介
  • 会社概要
  • お問い合わせ
  • TOP>>
    製品情報

    製品情報

    ・電子ビーム励起プラズマ源を用いた
      高密度プラズマ処理装置

    EBEP処理装置

    ・3つのターゲットで同時成膜
      可能なスパッタ装置

    三元マグネトロンスパッタ装置

    ・プラズマ生成とバイアス機能を
      備えた 2周波エッチング装置

    CCP型プラズマエッチング装置

    ・基板傾斜機構搭載高真空蒸着装置

    高真空蒸着装置

    ・産学協同プロジェクトから生まれた
      最先端 2プラズマ装置

    名古屋大学共同開発プラズマ装置

    カタログ一括ダウンロードできます