TEL:045-570-6886        
FAX:045-570-6890        
メール:info@kk-eng.co.jp
  • 製品情報
  • カスタマイズ製作
  • 製作実績
  • 技術紹介
  • 会社概要
  • お問い合わせ
  • TOP>>
    製品情報 >
    F-RadiMoラジカルモニター

    製品情報

  • ラジカルモニター
    (RadiMo)
  • F-RadiMo
    ラジカルモニター
  • VUV分光器

  • ナノカーボン
    堆積装置
  • 超高密度室温
    大気圧プラズマ装置
  • F-RadiMoラジカルモニター

     

    概    要
    ※ 吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの絶対密度の計測ができます。
    ※ 光源から放射されるプローブ光のスペクトルは高精度にキャリブレーションされて
        います。
    ※ 発光、非発光プラズマのどちらでも計測することができます。
    ※ 絶対密度算出のための較正が必要ありません。
    ※ F-RadiMoはプロセス装置のポートに取り付けることにより計測可能になります。

     

    応    用
    ※ プラズマ発生ラジカル計測
    ・ エッチング装置
        低誘電率層間絶縁膜エッチング
        シリコン酸化膜エッチング
        シリコンエッチング
    ・ 表面処理装置
        撥水膜堆積
        誘電体膜、絶縁膜堆積 ・ チャンバークリーニング
        シリコン
        タングステン
    ※ ダウンフロープラズマ発生ラジカル計測
    ※ アフターグロープラズマ発生ラジカル計測