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    EBEP処理装置

    製品情報

    EBEP処理装置

  • 窒化鋼種別処理例
  • ステンレス低温窒化処理
  • 樹脂表面改質例
  •  

    概    要
       EBEPとは電子ビーム励起プラズマ(Electron Beam Excited Plasma)の頭文字を並べた
    ものです。
       本装置は(独)理化学研究所の特許の実施権を取得して改良を加え、装置化したものです。

    ※  広い圧力領域において低エネルギー、大電流電子ビームにより、プロセスガスを高効率
         に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能
        (圧力:10-3 〜 1Pa 電子密度 :〜 1012 cm-3
        ⇒ CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成
        ⇒ 様々な材料の精密成膜、エッチング、表面改質が可能
    ※  酸化物、金属、樹脂等の成膜、表面改質に対応
    ※  ステージ加熱(Max 500℃)、バイアス印加による高速高精度処理が容易

     
     

    処理適用例
    ※ 詳細はこちら

     

    イメージ画像
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    自律型制御機構(オプション)
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