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    加速器関連機器

    加速器関連機器

    【 今まで製作した装置の実例 】
    シンクロトロン系
    高エネルギービーム輸送系
    低エネルギービーム輸送系
    ガントリービーム輸送系
    ファラデーカップ
    シャッター
    ダクト(真空チャンバー)
    ・ 電子ビーム励起プラズマ源を用いた
       高密度プラズマ処理装置
    ・ プラズマ生成とバイアス機能を
       備えた2周波エッチング装置
    ・ 基板傾斜機構搭載高真空蒸着装置