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    技術紹介

    技術紹介


      プロジェクトの目的としては、名古屋大学
      が独自に開発した反応空間内の原子状ラジ
      カル濃度を測定するプラズマ診断技術をも
      とに計測用スマートセンサー、ナノパター
      ニング技術について研究開発を行い、常に
      最適条件でのナノオーダーの超微細加工が
      自動的に行える「自律型ナノ製造装置」を
      開発しました。

      この「自律型ナノ製造装置」の製造過程で、
      片桐エンジニアリングの真空技術が役立っ
      ています。
      そしてこの世界の製造業に影響を与える実
      用的な「自律型ナノ製造装置」が、エレク
      トロニクス産業、機械加工産業、自動車産
      業、医療・バイオ産業、化学工業の幅広い
      産業分野に波及していきます。

      反応性の高いラジカルを制御することに
      より、ナノレベルでの高精度微細加工を
      行うことができます。
      ナノテクノロジーを量産技術として産業
      化するため、ラジカルの種類と密度をセ
      ンシングする超小型スマートセンサー
      (ラジカルモニター)、その情報をフィ
      ードバックする制御システムを搭載し、
      装置が自動的にプロセスを制御する次世
      代の製造装置である「自律型ナノ製造装
      置」を開発しました。