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    名古屋大学開発プラズマ装置

    製品情報

    名古屋大学共同開発プラズマ装置

          名古屋大学 電子情報システム専攻 堀研究室の研究結果を元に、弊社と名古屋大学発ベンチャー、
          NU-Reiとの共同で開発したプラズマ装置を御提供致します。御購入に関しては販売店のNU-Reiに
          お問い合わせください。

      ・世界初、プロセスで使える超小型
             ラジカル絶対密度計測装置

    ラジカルモニター(RadiMo)

      ・基底状態のフッ素ラジカル
             絶対密度計測装置

    F-RadiMoラジカルモニター

      ・真空紫外光用の小型分光器

    VUV分光器

     ・ナノカーボン材料を合成可能な
          CVD装置

    ナノカーボン堆積装置

       ・取扱簡便な小型大気圧プラズマ装置 

    超高密度室温大気圧プラズマ装置

    研究・開発:名古屋大学 電子情報システム専攻
                      堀 研究室

    販 売 店:

                      連絡先 TEL(052)933-1320